Aktywacja elektrostatyczno-pneumatyczna

Aktywacja elektrostatyczno-pneumatyczna jest metodą wzbudzania kształtowania cienkich membran dla układów mikroelektromechanicznych i mikrooptoelektromechanicznych . Zaletą tej metody jest działanie z dużą prędkością i niskim zużyciem energii. Może również powodować duże ugięcie cienkich membran. Elektrostatyczno-pneumatyczne urządzenia MEMS zwykle składają się z dwóch membran z uszczelnioną wnęką pomiędzy nimi. Jeden siłownik wywołujący membranę odchyla się do wnęki pod wpływem ciśnienia elektrostatycznego w celu sprężenia powietrza i zwiększenia ciśnienia powietrza. Podwyższone ciśnienie popycha drugą membranę i powoduje kształt kopuły. Dzięki bezpośredniemu oddziaływaniu elektrostatycznemu na membranę uzyskuje się wklęsły kształt.

zwierciadłach odkształcalnych MEMS do tworzenia zwierciadeł wypukłych i wklęsłych. Uruchamianie elektrostatyczno-pneumatyczne może podwoić maksymalne przemieszczenie cienkiej membrany w porównaniu z samą membraną uruchamianą elektrostatycznie.

Ponadto korzyść mechaniczna jest możliwa dzięki zastosowaniu uruchamiania elektrostatyczno-pneumatycznego. Ponieważ wnęka jest wypełniona powietrzem, wzmocnienie mechaniczne jest mniejsze niż w maszynach hydraulicznych z płynem nieściśliwym.