Cylinder bąbelkowy
Cylinder Bubblera jest elementem składowym urządzenia do chemicznego osadzania par metaloorganicznych (MOCVD). Są to urządzenia służące do przenoszenia związków metaloorganicznych klasy elektronicznej z ciekłego lub stałego prekursora do użytecznej pary .
Aparat
Pojemnik Bubblerów jest podobny do konstrukcji butli płuczącej gaz i służy do bezpiecznego przechowywania związków metaloorganicznych w celu wykluczenia dostępu powietrza ( tlen , wilgoć ). Bubbler ma rurkę zasilającą i rurkę do pobierania próbek. Rura wlotowa kończy się tuż przed dnem rury. Do tej rurki wprowadzany jest gaz obojętny, który przepuszcza płynny środek chemiczny; substancja chemiczna w stanie stałym sublimuje . Mieszanina kontrolowanego gazu obojętnego i odparowanej substancji chemicznej opuszcza cylinder do znajdującego się dalej zbiornika reakcyjnego. Temperatura jest kontrolowana przez termostat, dzięki czemu można osiągnąć określone, stałe ciśnienie pary. Dostarczanie często drogich i wrażliwych substancji chemicznych jest kontrolowane przez regulowany przepływ gazu obojętnego i temperaturę bełkotki, co skutkuje określoną prężnością pary substancji chemicznej.
Rura między barbotażem a reaktorem musi mieć wyższą temperaturę niż bańka, w przeciwnym razie prekursor skraplałby się w rurze, a zatem niekontrolowane kropelki przechodziłyby do naczynia reakcyjnego. Jeśli tak się stanie w przypadku stałego prekursora, może on zatkać linię.
Aplikacja
Na przykład, podczas produkcji diod elektroluminescencyjnych o wysokiej jasności , gal lub inne pierwiastki grupy III-V są epitaksjalnie osadzane na monokryształowym podłożu krzemowym . Gal jest wprowadzany do komory reaktora MOVPE przez parę. Ta para jest generowana przez przepuszczanie obojętnego gazu nośnego (takiego jak azot lub argon ) przez cylinder z rurką zanurzeniową przez metaloorganiczny prekursor, taki jak trimetylogal . Obojętny gaz nośny i pary metaloorganiczne są następnie wprowadzane do komory reaktora MOVPE (lub MOCVD) podczas produkcji diod LED o wysokiej jasności.
Linki zewnętrzne