Obróbka termiczna w ultrafiolecie

Obróbka termiczna w ultrafiolecie lub UVTP to nazwa nadana procesowi wykorzystania światła ultrafioletowego do stabilizacji folii dielektrycznych używanych do izolacji półprzewodników.

Opis

półprzewodnikowe wymagają niskich stałych dielektrycznych (wartości k) dla optymalnej przewodności cieplnej , aby zapewnić skalowanie półprzewodników . Nowsze folie dielektryczne stosowane do izolacji nowoczesnych układów scalonych można łatwo uszkodzić, powodując utratę ich właściwości izolacyjnych. Specjalistyczne zabiegi stosowane za pomocą światła ultrafioletowego poprawiają wydajność chipa. Lampy halogenowe wolframowe są źródłami stosowanymi w tradycyjnej szybkiej obróbce termicznej.