Osadzanie wspomagane wiązką jonów

Osadzanie wspomagane wiązką jonów lub IBAD lub IAD (nie mylić z osadzaniem indukowanym wiązką jonów , IBID) to technika inżynierii materiałowej , która łączy implantację jonów z jednoczesnym napylaniem katodowym lub inną techniką fizycznego osadzania z fazy gazowej . Poza zapewnieniem niezależnej kontroli parametrów, takich jak energia jonów, temperatura i szybkość napływu cząsteczek atomowych podczas osadzania, technika ta jest szczególnie przydatna do tworzenia stopniowego przejścia między podłoża i osadzonej błony oraz do osadzania błon z mniejszym naprężeniem wbudowanym niż jest to możliwe przy użyciu innych technik. Dzięki tym dwóm właściwościom można uzyskać folie o znacznie trwalszym wiązaniu z podłożem. Doświadczenie pokazało, że niektóre metastabilne związki, takie jak sześcienny azotek boru (c-BN), mogą tworzyć cienkie warstwy tylko wtedy, gdy są bombardowane energetycznymi jonami podczas procesu osadzania.

Zobacz też

• Osadzanie wiązką jonów
• Fizyczne osadzanie z fazy gazowej
• Powlekanie jonowe

•   Kester, Daniel J.; Messier, Russell (15 lipca 1992). „Kontrola fazowa cienkich warstw regularnego azotku boru”. Journal of Applied Physics . Wydawnictwo AIP. 72 (2): 504–513. Bibcode : 1992JAP....72..504K . doi : 10.1063/1.351881 . ISSN 0021-8979 .
• Strona osadzania wiązką jonów firmy 4wave Inc. ze schematem typowego systemu IBD