PMUT

Piezoelektryczne mikromaszynowe przetworniki ultradźwiękowe ( PMUT ) to piezoelektryczne przetworniki ultradźwiękowe oparte na technologii MEMS . W przeciwieństwie do masowych przetworników piezoelektrycznych, które wykorzystują ruch w trybie grubości płytki z ceramiki piezoelektrycznej , takiej jak PZT lub monokrystaliczny PMN-PT, PMUT opierają się na ruchu zginania cienkiej membrany połączonej z cienką warstwą piezoelektryczną, taką jak PVDF . W porównaniu z masowymi piezoelektrycznymi przetwornikami ultradźwiękowymi, PMUT może oferować takie korzyści, jak zwiększona szerokość pasma , elastyczne geometrie, naturalne dopasowanie impedancji akustycznej do wody, zmniejszone wymagania dotyczące napięcia, mieszanie różnych częstotliwości rezonansowych i możliwość integracji z pomocniczymi obwodami elektronicznymi, szczególnie w przypadku zminiaturyzowanych aplikacji o wysokiej częstotliwości.