Pompa zgrubna

  Pompa wstępna to dowolna pompa próżniowa (zwykle mechaniczna) używana do wstępnego opróżnienia układu próżniowego, jako pierwszy etap w kierunku osiągnięcia wysokiej lub bardzo wysokiej próżni . Termin „pompa zgrubna” wywodzi się z zakresu podciśnienia, w którym pracuje, „próżni zgrubnej”, powyżej 1x10-3 ^torr ( 0,1 Pa ). Pompy pracujące w zakresach wysokiego podciśnienia zazwyczaj nie działają lub działają jedynie nieefektywnie przy ciśnieniu atmosferycznym , podczas gdy pompy efektywnie pracujące pod ciśnieniem atmosferycznym zwykle nie są w stanie wytworzyć podciśnienia niższego niż około 1x10-3 ^tor .

Jednym z czynników branych pod uwagę przy wyborze pompy do obróbki wstępnej jest to, czy pompa wykorzystuje olej smarowy wystawiony na działanie próżni. Problem związany z „wstecznym przepływem węglowodorów”, podczas którego olej z pompy w postaci gazu przedostaje się do komory próżniowej, doprowadził do pojawienia się na rynku konstrukcji pomp bezolejowych.

Typy

Dwa główne typy pomp do obróbki zgrubnej to pompy z uszczelnieniem olejowym i pompy do obróbki zgrubnej na sucho. Obie kategorie obejmują różne rodzaje konstrukcji, różniące się między sobą kwestiami konserwacji, kosztami początkowymi, żywotnością pompy i poziomem podciśnienia. Na początku produkcji pompy suche były znacznie droższe niż pompy na bazie oleju, jednak z biegiem czasu różnica w kosztach zniknęła.

Zalety i wady każdego z nich są następujące:

Pompy uszczelnione olejem
Typ	Zalety	Niedogodności
Łopatka obrotowa	Niskie ciśnienie końcowe Niski koszt Długa żywotność pompy	Olej przepływa wstecznie. Wytwarza odpady niebezpieczne
Płat korzeniowy	Bardzo duża prędkość pompowania	Częsta konserwacja Wymaga gazu płuczącego Wymaga pompy wspomagającej Musi być ustawiony całkowicie poziomo
Tłok obrotowy	Duża objętość Niski koszt	Hałas Wibracje Zawór bezpieczeństwa
Pompy do obróbki zgrubnej na sucho
Zwój	Czystość Niskie ciśnienie końcowe „na sucho” Łatwy w serwisowaniu Cichy Opracowany na podstawie sprężarki klimatyzacji, więc technologia jest dobrze znana	Ograniczona żywotność łożyska Ograniczona trwałość spirali Przepuszczalna dla małych gazów Nie hermetycznie zamknięta Tylko do zastosowań czystych
Membrana	Niski koszt Cichy Łatwy w serwisowaniu	Niska prędkość pompowania Wysokie ciśnienie końcowe Wymagany częsty serwis
Hak i pazur	Brak przepływu wstecznego. Niskie ciśnienie końcowe	Drogi
Wirnik śrubowy	Niskie ciśnienie końcowe Mniej konserwacji niż Hook & Claw	Drogi
Suchy tłok	Niskie ciśnienie końcowe	Drogi
Sorpcja	Czyszczenie Brak ruchomych części	Wymaga ciekłego azotu. Wymaga regeneracji . Ograniczona wydajność

Źródła

• Podstawy systemu próżniowego , Hasina Jamal, Uniwersytet Maryland

• Porównanie pomp do obróbki zgrubnej , Roy Schmaus, Uniwersytet Alberta. Zarchiwizowane od oryginału w dniu 27 maja 2006 r.