Siłownik termiczny MEMS

Siłownik termiczny MEMS jest urządzeniem mikroelektromechanicznym, które zwykle generuje ruch poprzez wzmocnienie rozszerzalności cieplnej . Niewielka rozszerzalność cieplna jednej części urządzenia przekłada się na duże ugięcie całego urządzenia. Zwykle wytwarzane z domieszkowanego monokrystalicznego krzemu lub polikrzemu jako złożony element podatny, wzrost temperatury można osiągnąć wewnętrznie przez elektryczne ogrzewanie rezystancyjne lub coś za pomocą źródła ciepła zdolnego do lokalnego wprowadzania ciepła. Siłowniki termiczne z mikrofabryki można zintegrować z mikrosilnikami.

Rodzaje siłowników termicznych

  • Asymetryczny (bimorficzny)
  • Symetryczny (belka wygięta, jodełka)

Inne typy siłowników MEMS

Pobrano z „ https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=MEMS_thermal_actuator&oldid=1122144739 ”