Specyfikacja interfejsu użytkownika dla sprzętu do produkcji półprzewodników

Ta specyfikacja jest zwykle nazywana standardem SEMI E95-0200. Został pierwotnie opublikowany w lutym 2000 r., a najnowsza wersja techniczna to SEMI E95-1101.

Norma ta dotyczy obszaru przetwarzania treści z bezpośrednim zamiarem opracowania wspólnych standardów oprogramowania , tak aby problemy związane ze szkoleniem operatorów, specyfikacjami operacyjnymi i efektywnym rozwojem mogły być łatwiej rozwiązywane.