Wyżarzanie piecowe

Obraz zewnętrzny
Piec do wyżarzania , 2018

Wyżarzanie w piecu to proces stosowany w produkcji urządzeń półprzewodnikowych , który polega na ogrzewaniu wielu płytek półprzewodnikowych w celu wpłynięcia na ich właściwości elektryczne. Obróbki cieplne są przeznaczone do różnych efektów. Płytki mogą być podgrzewane w celu aktywacji domieszek , zmiany warstwy na warstwę lub powierzchni styku podłoża z płytką, zagęszczenia osadzonych warstw, zmiany stanów wyhodowanych warstw, naprawy uszkodzeń implantów , przeniesienia domieszek lub przeniesienia domieszek z jednej warstwy na drugą lub z folii w podłoże waflowe. Podczas procesu implantacji jonów podłoże krystaliczne jest uszkadzane w wyniku bombardowania jonami o wysokiej energii. Wyrządzone szkody można naprawić, poddając kryształ działaniu wysokiej temperatury. Ten proces nazywa się wyżarzaniem. Wyżarzanie piecowe można włączyć do innych etapów obróbki w piecu, takich jak utlenianie, lub można je przetwarzać samodzielnie.

Wyżarzanie w piecu jest wykonywane przez sprzęt zbudowany specjalnie do podgrzewania płytek półprzewodnikowych . Piece są w stanie przetwarzać wiele płytek jednocześnie, ale każdy proces może trwać od kilku godzin do jednego dnia. Coraz częściej wyżarzanie piecowe jest zastępowane przez szybkie wyżarzanie termiczne (RTA) lub szybką obróbkę termiczną (RTP). Wynika to ze stosunkowo długich cykli termicznych pieców, które powodują, że aktywowane domieszki, zwłaszcza bor, dyfundują dalej niż zamierzono. RTP lub RTA rozwiązują ten problem, stosując cykle termiczne dla każdej płytki, które są rzędu minut, a nie godzin w przypadku wyżarzania w piecu.

Sprzęt

• Consolidated Engineering Company zarchiwizowane 2013-11-05 w Wayback Machine Annealing Piece obejmują szeroki zakres zastosowań stali i aluminium, w tym odpuszczanie, normalizowanie i starzenie, a podobny zautomatyzowany załadunek, rozładunek i naturalne lub wymuszone chłodzenie jest możliwe z trzonem rolkowym, końcówką układy w górę lub wsadowe.
• Koyo Thermo Systems do zastosowań półprzewodnikowych, słonecznych, wyświetlaczy i elektronicznych
• Tokyo Electron Limited TELFORMULA i TELINDY PLUS
• [1] Piece do wyżarzania - do drutu lub taśmy ze stali wysokowęglowej lub niskowęglowej, stali niskowęglowej i stopowej.
• [2] piece do wyżarzania do zastosowań w półprzewodnikach, w tym NVM, TFH, czujniki magnetyczne i cewki indukcyjne.