Przedni koniec linii

BEOL (warstwa metalizacji) i FEOL (urządzenia).

Proces produkcji CMOS

Front -end-of-line ( FEOL ) to pierwsza część produkcji układów scalonych , w której poszczególne komponenty ( tranzystory , kondensatory , rezystory itp.) są modelowane w półprzewodniku . FEOL generalnie obejmuje wszystko, aż do osadzania metalowych warstw połączeń (ale nie obejmuje).

W przypadku procesu CMOS FEOL zawiera wszystkie etapy produkcji potrzebne do utworzenia izolowanych elementów CMOS:

1. Wybór rodzaju używanej płytki ; Planaryzacja chemiczno-mechaniczna i czyszczenie płytki.
2. Izolacja płytkich wykopów (STI) (lub LOCOS we wczesnych procesach, o wielkości elementu > 0,25 μm)
3. Dobra formacja
4. Formacja modułu bramkowego
5. Tworzenie modułu źródła i drenażu

Zobacz też

• Tylny koniec linii
• Układ scalony

Dalsza lektura

•   „CMOS: projektowanie obwodów, układ i symulacja” Wiley-IEEE, 2010. ISBN 978-0-470-88132-3 . strony 177-178 (Rozdział 7.2 Integracja procesu CMOS); strony 180-199 (7.2.1 Integracja frontend-of-the-line)