Systemy Etec

Systemy Etec

Założony	1970
Zmarły	2005
Los	Zakupione przez Applied Materials
Produkty	skaningowe mikroskopy elektronowe narzędzia do litografii wiązką laserową

Etec Systems był amerykańskim producentem skaningowych mikroskopów elektronowych , narzędzi do litografii wiązką elektronów i narzędzi do litografii wiązką lasera od 1970 do 2005 roku. Siedziba firmy znajdowała się w Hayward w Kalifornii i Hillsboro w stanie Oregon .

Historia firmy

Dawny budynek Etec w Hillsboro w stanie Oregon

Etec Corporation z Hayward w Kalifornii została założona w 1970 roku jako producent skaningowych mikroskopów elektronowych (SEM), ale później stała się producentem narzędzi do litografii wiązką elektronów , a produkcja SEM została przerwana.

Etec później połączył się z ATEQ z Beaverton w stanie Oregon (obszar Portland), która produkowała narzędzia do litografii wiązką laserową . Połączona firma nosiła nazwę „Etec Systems” i oferowała portfolio litografii opartej zarówno na wiązkach elektronów, jak i laserów. Produkty te dotyczyły fotomasek i siatek używanych w produkcji układów scalonych. W 1999 roku część firmy z Beaverton w stanie Oregon została przeniesiona do Hillsboro w stanie Oregon.

Etec został zakupiony przez Applied Materials w 2000 roku i zorganizowany w ramach korporacji Applied Materials jako autonomiczna grupa biznesowa. W 2000 roku Etec zatrudniał 600 pracowników w Hayward.

W 2002 roku firma Applied Materials ogłosiła, że ​​dokonuje przeglądu planu zamknięcia Etec. Etec Systems została wchłonięta przez swoją spółkę macierzystą Applied Materials w październiku 2005 roku.

Produkty

Skaningowe mikroskopy elektronowe

Założona w 1970 roku firma Etec produkowała skaningowe mikroskopy elektronowe o bardzo wysokiej jakości; wiele instrumentów nadal działa dobrze 30 lat później. Zaprojektowany przez Nelsona Yew, Autoscan generuje doskonałe obrazy, przewyższając nowoczesne instrumenty narażone na szum cyfrowy i inne problemy.

Ponieważ MEBES stał się głównym produktem, firma została kupiona przez Perkin Elmer, a produkcja SEM została przerwana.

Narzędzia do litografii wiązką elektronów

Jakiś czas po 2002 roku linia produktów stanowiąca pierwotną ofertę Etec (MEBES – Manufacturing Electron Beam Exposure System) została wycofana. Większość narzędzi MEBES III została wycofana z eksploatacji na rzecz narzędzi do litografii laserowej Etec CORE i ALTA, które mają większą przepustowość i wykorzystują bardziej przyjazną dla środowiska warstwę ochronną typu IP3500, która nie wymaga procesu opracowywania opartego na rozpuszczalnikach. Jednak obecnie na całym świecie nadal używa się wielu MEBES III i IV.

Narzędzia do litografii laserowej

Wraz z zakupem Etec w 2005 roku, linia Etec laserowych narzędzi litograficznych jest nadal rozwijana i produkowana przez Applied Materials. Szwedzka firma Micronic AB i niemiecka firma Heidelberg Instruments są konkurentami w rozwiązaniach do produkcji masek opartych na laserze. Jednak popyt na narzędzie do litografii laserowej firmy Applied Material sprawił, że nadal jest ono najczęściej dostępnym i najczęściej używanym narzędziem w branży fotomasek.

Linki zewnętrzne

• Zdjęcie obecnie używanego Autoscana (po lewej) .