Diazonaftochinon

Diazonaftochinon

Nazwy
Preferowana nazwa IUPAC 2-Diazonaftalen-1(2H ) -on
Inne nazwy Diazydek 1,2-naftochinonu
Identyfikatory
Numer CAS	879-15-2   Y
Model 3D ( JSmol )	Interaktywny obraz
ChemSpider	7991089   N
Identyfikator klienta PubChem	9815339
InChI InChI=1S/C10H6N2O/c11-12-9-6-5-7-3-1-2-4-8(7)10(9)13/h1-6H   N Klucz: URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYSA-N   N InChI=1/C10H6N2O/c11-12-9-6-5-7-3-1-2-4-8(7)10(9)13/h1-6H Klucz: URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYAU
UŚMIECH O=C(C(C=C2)=[N]=[N])C1=C2C=CC=C1
Nieruchomości
Wzór chemiczny	C10H6N2O _ _ _ _ _ _
Masa cząsteczkowa	170,171 g·mol -1
O ile nie zaznaczono inaczej, dane podano dla materiałów w stanie normalnym (przy 25°C [77°F], 100 kPa).   N ( co to jest T N ?) Referencje w infoboksie

Diazonaftochinon (DNQ) jest diazową pochodną naftochinonu . Pod wpływem światła DNQ przekształca się w pochodną podatną na trawienie. W ten sposób DNQ stał się ważnym odczynnikiem w technologii fotomaski w przemyśle półprzewodnikowym.

Estry kwasu diazonaftochinonosulfonowego są składnikami typowych materiałów fotorezystowych . Takie fotomaski są wykorzystywane do produkcji półprzewodników. W tym zastosowaniu DNQ są mieszane z Novolac , rodzajem polimeru fenolowego . DNQ działa jako inhibitor rozpuszczania. Podczas procesu maskowania/nanoszenia wzorów części folii fotorezystu są wystawiane na działanie światła, podczas gdy inne pozostają nienaświetlone. W nienaświetlonych obszarach błony maskującej DNQ działa jako inhibitor rozpuszczania, a maska ​​pozostaje nierozpuszczalna w wodnym wywoływaczu bazowym. W odsłoniętych obszarach DNQ tworzy keten, który z kolei reaguje z otaczającą wodą, tworząc rozpuszczalny w zasadzie kwas indenokarboksylowy. Odsłonięte obszary błony fotorezystu stają się rozpuszczalne w wodnej bazie; umożliwiając w ten sposób tworzenie obrazu reliefowego podczas wywoływania.

Reakcje chemiczne

Po fotolizie DNQ przechodzi przegrupowanie Wolffa , tworząc keten. Keten dodaje wodę, tworząc indanowo -karboksylowy.