Monokrzemek niklu

NiSi
FeB structure 2.png
Identyfikatory
Model 3D ( JSmol )
ChemSpider
Identyfikator klienta PubChem
  • InChI=1S/Ni.Si
    Klucz: PEUPIGGLJVUNEU-UHFFFAOYSA-N
  • [Si].[Ni]
Nieruchomości
NiSi
Masa cząsteczkowa 86,778 g/mol
Temperatura topnienia 1000°C; 1832 °F; 1273 tys
-0,3 × 10-6 emu /g
Struktura
Rombowy, oP8
Pnma, nr 62
a = 0,519 nm, b = 0,333 nm, c = 0,5628 nm
4
O ile nie zaznaczono inaczej, dane podano dla materiałów w stanie normalnym (przy 25°C [77°F], 100 kPa).

Monokrzemek niklu jest związkiem międzymetalicznym utworzonym z niklu i krzemu . Podobnie jak inne krzemki niklu , NiSi ma duże znaczenie w dziedzinie mikroelektroniki .

Przygotowanie

Monokrzemek niklu można wytworzyć przez nałożenie warstwy niklu na krzem, a następnie wyżarzanie . W przypadku warstw Ni o grubości powyżej 4 nm normalną przemianę fazową daje Ni2Si w temperaturze 250°C, następnie NiSi w temperaturze 350°C i NiSi2 w temperaturze około 800°C. Dla warstw o ​​początkowej grubości Ni poniżej 4 nm obserwuje się bezpośrednie przejście od rombowego Ni 2 Si do epitaksjalnego NiSi 2−x , z pominięciem fazy monokrzemkowej niklu.

Używa

Kilka właściwości sprawia, że ​​NiSi jest ważnym lokalnym materiałem kontaktowym w dziedzinie mikroelektroniki, między innymi zmniejszony budżet cieplny, niska rezystywność 13-14 μΩ·cm i zmniejszone zużycie Si w porównaniu z alternatywnymi związkami.